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          Layertec 優質基材

          簡要描述:Layertec 優質基材
          腔衰蕩時間光譜儀或EUV鏡的特殊激光應用的優質基材的特點是:
          &#216;精確的幾何形狀:有關直徑,厚度,折痕或曲率半徑等幾何特性的公差,請咨詢客服
          &#216;表面粗糙度
          &#216;表面形狀公差
          &#216;拋光表面上的缺陷數量

          • 產品品牌:Layertec
          • 廠商性質:代理商
          • 更新時間:2021-05-07
          • 訪  問  量:95

          詳細介紹

          品牌其他品牌價格區間面議
          組件類別光學元件應用領域醫療衛生,環保,化工,電子,綜合

          Layertec 優質基材

          腔衰蕩時間光譜儀或EUV鏡的特殊激光應用的優質基材的特點是:

          Ø精確的幾何形狀:有關直徑,厚度,折痕或曲率半徑等幾何特性的公差,請咨詢客服

          Ø表面粗糙度

          Ø表面形狀公差

          Ø拋光表面上的缺陷數量

          LAYERTEC針對所有這些參數優化了拋光程序。 在下文中,我們就會展示使用熔融二氧化硅和氟化鈣可獲得的出色結果。

          規格

          表面粗糙度

          ØRMS-熔融石英和氟化鈣的平面基板的粗糙度<1.5Å

          Ø在光滑彎曲的球形熔融石英表面上得到相似的結果(取決于直徑和曲率半徑的比率)

          Ø即使在紫外線范圍內,基材的散射損耗也非常低:

          ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

          ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

          Ø即使在DUV / VUV波長范圍內也適用于低損耗光學元件


          高質量拋光熔融石英基板的功率譜密度(PSD)曲線(在FhG IOF Jena上執行的測量)


          高質量拋光CaF2基板(在FhG IOF Jena執行)的3D AFM測量,均方根粗糙度0.12nm

          Layertec 優質基材

          表面形狀公差

          Fused silica

          Plane

          λ/20 (633nm) for diameters of 6.35mm … 101.6 mm

          Spherical

          λ/10 (633nm) for diameters of 6.35mm … 38.1mm

          CaF2

          Plane

          λ/10 (633nm) for diameters of 12.7mm … 25.4 mm

          λ/4 (633nm) for diameters of 38.1mm … 50.8 mm

          Spherical

          λ/4 (633nm) for diameters of 12.7mm ... 50.8mm

           

          表面質量

          Material

          ISO 10110 (25mm)

          Approximately equivalent to MIL-O-13830

          Fused Silica

          5/1x 0.010 L1x 0.0005

          Scratch - Dig 5 - 1

          CaF2

          5/1x 0.016 L1x 0.0010

          Scratch - Dig 10 - 2

           

          如何選基材

          基材的價格和質量取決于材料,形狀,尺寸,公差和拋光質量。在此站點上,我們將提供有關上述每個問題的更多信息。但是請注意:所有這些解釋都非常簡化。有關詳細規范,請閱讀相關標準的全文。我們也很高興通過電話討論您的詳細問題。

          材料

          第一個決定是基板的材料。對于高傳輸的所有波長,它都應無吸收。如果沒有發生傳輸,則可以使用低成本的材料,例如適用于金屬鏡的Borofloat®(SCHOTT AG)。關于表面形狀公差,低的熱膨脹是有利的。

          形狀

          必須分別為兩側定形狀?;旧?,平面,凸面和凹面的所有組合都是可能的。特殊角色扮演著角色??梢栽诟鞣N表面(平面以及凸面或凹面)上應用楔形物(例如30 arcmin)。對于彎曲的基板,半徑符號有不同的約定。有時,“ +”表示凸形,“-”表示凹形。其他用戶將“ +”和“-”稱為光傳播。在這種情況下,“ +”表示“沿傳播方向的曲率”,“-”表示“沿傳播方向的曲率”。為避免混淆,請分別在單詞中或在首字母縮寫CC或CX上定凹形或凸形。

          尺寸

          主要決定是邊緣長度或直徑。

          除非另有說明,否則厚度描述是指基板的最大厚度,即平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。因此,在較厚的一側測量了楔形板。

          為了獲得良好的形狀公差,應該注意直徑和厚度的比率。根據經驗,厚度應為直徑的五分之一。當然,其他比率也是可能的,但是生產支出增加了。


          規范不同類型的基板厚度的慣例(示意圖)

          公差范圍

          除尺寸和材料外,公差對價格重要。當然,光學元件必須安裝在安裝座中,以使直徑不應大于規定的直徑。最常見的規格是– 0.1mm。 通常,厚度在兩個方向上都是自由的。LAYERTEC通常定其公差為±0.1mm。關于楔形,并行性和對中的規范存在很多困惑。請注意,楔形和平行度描述了光學表面之間的角度,而居中描述了光學表面和側面之間的角度(見圖2)。


          圖2關于楔形和定心的各種平面基板(示意圖)

          LAYERTEC標準基材的平行度優于5arcmin。 特制的并行可能具有低至10arcsec的并行度。 標準楔形基板的楔形度為0.5°或1°。取決于基板尺寸,較大的楔角是可能的。通常,與側面成90°角的精度為20arcmin。定心是附加的光學處理,可將這種精度提高到幾弧分。

           

          使用相同的術語,可以描述彎曲的基材。鏡子和鏡片之間應該有區別。鏡子基板的側面是平行的。然而,光軸的方向可以相對于側面傾斜。居中后,側面平行于光軸。這樣,鏡面基板就變成了透鏡。

          表面形狀公差

          表面形狀公差通常由干涉儀測量,并以λ為參考值,λ是參考波長。無需進一步說明,參考波長為λ= 546nm。為避免混淆,必須清楚地區分平坦度,功率和不規則度。下面,將解釋平面的平坦度和不規則度。


          圖3區分平面度,功率和不規則性的示意圖。第一基板的平坦度為λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的冪以及λ/ 10的不規則度。第三基板在每個表面上具有λ/ 4的不規則性,但是透射波前的變形僅為λ/ 10。

           

          一般而言,每個實際表面或多或少都是彎曲的。想象一下,真實表面的“峰”和“谷”被平行平面覆蓋(見圖3)。這些平面之間的距離稱為平坦度。這種平坦性包括兩個方面。第一個貢獻是表面的球形彎曲,這可以用兩個適合的“峰”和“谷”擬合球來描述。相對于理想平面的該曲率的弧矢表示為冪。這種球形彎曲不會影響反射光束的質量。它只是導致有限的焦距。第二個貢獻是最佳擬合球體的偏差,稱為不規則性。這是光束質量重要的值。

          ISO 10110標準為定表面形狀公差提供了足夠的機會。與測量結果具有最佳的可比性,所有值均以干涉條紋的數量給出。應將其讀取為1條紋=λ/ 2。在圖紙中,將表面形狀公差分配為第三項:3 /功率(不規則性)。

          示例:可以將規則的(λ/ 10)稍微彎曲(λ/ 4)的光學器件定為:3 / 0.5(0.2)。

          僅將光學器件用于傳輸(例如激光窗口),功率和不規則性都無關緊要。如果光學元件在整個自由孔徑上具有相同的厚度,則透射光束不會受到影響。與平坦度相似的方式定義了與該相等性的偏差。它也以參考波長的一部分進行測量,稱為“透射波陣面”。例如,圖3中的窗口的平坦度為λ/ 4,但透射波前為λ/ 10。”

          涂層應力

          通常,薄的基材無法承受涂層應力。涂層將導致球形變形。這意味著發生有限的矢狀面或力量。對于圓形基板,不規則性不受此問題影響。認真對待上述值,平坦度變差。然而,光束的質量不受影響。

          瑕疵

          MIL-O -13830和ISO10110是描述光學元件的不同標準。這通常會導致模糊不清。 本上,應該區分劃痕和凹痕。MIL-O-13830中的劃痕和挖掘深度數字表示最大的劃痕寬度(以十分之一微米為單位)和最大挖掘直徑(以百分之一毫米為單位)。最大尺寸挖掘可以是直徑的每20mm一次。根據ISO10110,缺陷定為項目編號5。等級編號表示二次區域的邊長(以毫米為單位),它等于總缺陷區域。因此5 / 1x0.025表示表面缺陷面積為0.000625 mm2。此外,前導L表示任何長度的刮擦。寬度為4微米的長刮擦將定為L 1 x 0.004。

          標準質量基材

          LAYERTEC的精密光學設備可生產平面和球面彎曲的鏡面基板,熔融石英的透鏡和棱鏡,BK7和SF10等光學玻璃以及某些晶體材料,例如 氟化鈣。在以下內容中,您可以找到有關我們標準基板規格的信息。請不要猶豫,與我們聯系以獲取其他尺寸,形狀,半徑和材料或特殊組件,例如棱鏡,標準具或彎月形透鏡。

          規格

          材料

          熔融石英:Corning7980®或Lithosil®Q2(SCHOTT AG)

          用于高功率應用的熔融石英:Suprasil®300 / 3001/3002(Heraeus)

          紫外熔融石英(準分子級)Lithosil®Q1 E -193和E-248(SCHOTT AG)紅外熔融石英:Infrasil302®(Heraeus)

          BK7®:光學玻璃(SCHOTT AG)

          CaF2:從紫外線到紅外都是透明的,可根據要求提供準分子級質量的價格

          藍寶石:隨機取向,單晶,可根據要求提供特殊取向

          YAG:未摻雜,隨機取向,單晶


          ∅: 直徑 [mm]

          t: 厚度 [mm]

           

          外型尺寸

          Ø熔融石英,BK7:直徑6.35毫米…508毫米(¼英寸…20英寸)

          Ø氟化鈣,YAG,藍寶石:直徑6.35毫米至50.8毫米(¼英寸至2英寸)

          Ø可根據要求提供矩形基板和其他直徑

          平面基板,平行和楔形

          Ø標準平面基板:楔形<5arcmin

          Ø標準平行:楔形<1arcmin或楔形<10arcsec

          Ø標準楔子:楔形= 30arcmin或楔形= 1deg

          平凹和平凸基材

          Ø標準半徑:25、30、38、50、75、100、150、200、250、300、400、500、600、750、1000、2000、3000、4000、5000mm

          Ø楔形:CaF2:楔形<15min,所有其他材料:楔形<5min

          公差范圍

          Ø直徑:+0毫米,-0.1毫米

          Ø厚度:±0.1mm


          •∅:直徑[mm]

          •te:邊緣厚度[mm]

          •tc:中心厚度[mm]

          表面形狀公差

          Fused silica

          λ/10 (633nm)

          BK7

          λ/10 (633nm)

          CaF2
          Plane

           6.35mm … 25.4mm

          λ/10 (633nm),

           38.1 … 50.8mm

          λ/4 (633nm)

          Sapphire

          5/3 x 0.025 L20 x 0.0025

          YAG

          5/1 x 0.025 L2 x 0.004

          YAG

          5/1 x 0.025 L2 x 0.004

          表面質量

          Material

          ISO 10110 (25mm)

          Approximately equivalent to MIL-O-13830

          Fused Silica

          5/1 x 0.025 L1x 0.001

          Scratch - Dig 10 - 3

          BK7

          5/2 x 0.040 L1x 0.001

          Scratch - Dig 10 - 5

          CaF2

          5/3 x 0.025 L1x 0.0025

          Scratch - Dig 20 - 3

          Sapphire

          5/3 x 0.025 L20 x 0.0025

          Scratch - Dig 40 - 3

          YAG

          5/1 x 0.025 L2 x 0.004

          Scratch - Dig 40 - 3

           

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